Zamonaviy dunyoda innovatsion tadqiqotlar 1-jild vative-son (2022) · 122–131-betlar

МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ЗОН НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА СПЕКТРОВ ФОТО- И УПРУГООТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

Ахмаджонов, М.Ф.

DOI: 10.5281/zenodo.6560028 · Manbada o'qish →

Annotatsiya

Развитие современной микроэлектроники тесно связано с получением и изучением свойств тонких пленок, толщина которых составляет несколько десятков Е. Такие пленки в основном получают в условиях высокого вакуума различными методами, например, методами напыления, эпитаксиального роста, ионной имплантации или ионного перемешивания.

Metadata manbasi: jurnal OAI-PMH arxivi · Sindex to'liq matnni saqlamaydi, manbaga havola beradi.