Центральноазиатский журнал образования и инноваций 4-jild vation-son (2025) · 84–88-betlar

ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ И КИНЕТИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ МАРГАНЦА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Эгамбердиев, Б.Э., Хасанова, Л.Э.

DOI: 10.5281/zenodo.17233766 · Manbada o'qish → · PDF (manba serverida)

Annotatsiya

В статье рассмотрены энергетические и кинетические особенности формирования силицидов марганца на кремнии при ионной имплантации с низкой дозой порядка 10^14ионов/см². Проведен анализ влияния дозы, энергии и температуры термообработки на фазовый состав и морфологию образуемых силицидных структур. Показано, что низкие дозы приводят к формированию нанокластеров и островковых структур, что существенно влияет на кинетику фазовых превращений и механизмы роста силицидов. Результаты исследования важны для разработки технологий формирования ультратонких силицидных слоев в микроэлектронике, где требуется высокая степень контроля над структурой и свойствами контактов

ионная имплантация, силициды марганца, кремний, низкая доза, нанокластеры, кинетика роста, термообработка

Metadata manbasi: jurnal OAI-PMH arxivi · Sindex to'liq matnni saqlamaydi, manbaga havola beradi.