Центральноазиатский журнал образования и инноваций 4-jild vation-son (2025) · 128–131-betlar

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК CdTe МЕТОДОМ МАГНЕТРОННО-ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Sultanpasha, Muzafarova, Оlimjon, Norqulov, Malokhat, Tukhtasheva

DOI: 10.5281/zenodo.17937401 · Manbada o'qish → · PDF (manba serverida)

Annotatsiya

Материалы CdTe методом распыления магнетрона изготовлены в основном газотранспортной реакции в потоке водорода на молибденовые и графитовые подложки при высокой температуре зоны порядка Т6009500С. Для испарения использовались мелко зерновые порошки CdTe. Были опробованы разные режимы выращивания плёнок, и также менялись расстояния испаритель-подложка. Мишени получались разными по структуре и по толщине. Толщина d100500 мкм, диаметр D45cм. Общее количество мишени,  опробованные в плазме порядка 30шт.Качественные наилучшие образцы для мишени получены, тогда температура источника Ти=9500С и температура подложки Тп=7000С, а расстояние между источником и подложкой  равно 2см

Metadata manbasi: jurnal OAI-PMH arxivi · Sindex to'liq matnni saqlamaydi, manbaga havola beradi.