Центральноазиатский журнал академических исследований 3-jild 9-son (2025) · 173–176-betlar

ВЛИЯНИЕ ТЕРМООТЖИГА НА СОСТОЯНИЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАНННЫХ АТОМОВ MN В SI”

Эгамбердиев, Б.Э., Хасанова, Л.Э.

DOI: 10.5281/zenodo.17233717 · Manbada o'qish → · PDF (manba serverida)

Annotatsiya

В данной работе приведены результаты исследований изучения про-филей распределения имплантированных атомов Mn в Si в зависимости от дозы облучения и температуры отжига методом РОР. Полученные резуль-таты подтверждают аналогичные данные, полученные ВИМС. Изучено вли-яние термоотжига на распределение Mn и других примесей, в частности, кислорода. Приведена возможность использования метода РОР для анализа концентрационного распределения легированных примесей и взаимодействия примесей между собой.

примеси, профили, влияния, термический отжиг, , глубина, концентрацион-ное распределение, доза облучения, температуры активации..

Metadata manbasi: jurnal OAI-PMH arxivi · Sindex to'liq matnni saqlamaydi, manbaga havola beradi.