Eurasian Journal of Academic Research 4-jild 7-son (2024) · 1194–1195-betlar

МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ КЛАСТЕРОВ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ НИКЕЛЯ И ФОСФОРА

Кулумбетов, Адилбек, Кенжаев, Зоир, Исмаилов, Байрам

DOI: 10.5281/zenodo.13378779 · Manbada o'qish →

Annotatsiya

В этой работе показана результаты исследовании кремниевой пластины в которую внедрены примесные атомы никеля и фосфора методом диффузионного легирования. Исследование методом Ван дер Пау показал, что удельное сопротивление образцов ρ=0,14 Ω·cm, концентрация дырок np=9·1017/cm-3, подвижность µp=51 cm2/v·s. Топографические снимки электростатической силовой микроскопии показали, что на поверхности пластины наблюдается нанокластеры примесных атомов размером от 50 до 500 нм.

Кремний, фотоэлемент, легирование никелем, электростатическая силовая микроскопия, диффузия, термоотжиг, кластер.

Metadata manbasi: jurnal OAI-PMH arxivi · Sindex to'liq matnni saqlamaydi, manbaga havola beradi.