«FarDU­ ilmiy xabarlari» Volume 31 Issue 1 (2025)

KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI

Normuradov, Muradulla

Read at source

Abstract

<p>Ushbu maqolada monokristall kremniy yuzasida yupqa Cu<sub>15</sub>Si<sub>4</sub> plyonkalarning hosil bo'lishi, ularning sirt morfologiyasi va plyonka hosil bo'lish mexanizmi haqida ilmiy ma'lumotlar keltirilgan. Magnetronli purkashning turli usullaridan foydalangan holda metallar va silitsidlarning nanoplyonkalarini hosil qilish mexanizmi tushuntirilgan. Plyonkalarning qalinligi SEM yordamida o'lchandi. Elementlarning tarkibi energiya dispers spektri yordamida aniqlandi. Sirt morfologiyasi lazer konfokal mikroskop yordamida tekshirildi. Elektr xususiyatlari SBA-458 yordamida aniqlandi. Optik xususiyatlar IQ spektrofotometr yordamida tahlil qilindi. Mis silitsid plyonkasi hosil bo'lishi mis kristall o'lchamiga va taglik haroratiga bog'liq bo'lib, 467<sup>o</sup>C haroratda 130 nm qalinlikdagi mis qatlami ostida 75 nm qalinlikdagi Cu<sub>15</sub>Si4 plyonkasi hosil bo'ldi. Ushbu tadqiqot metall oksidli yarimo'tkazgichli tranzistorlar va yuqori tezlikdagi integral mikrosxemalar (IS) ish faoliyatini yaxshilash uchun mis kremniydan foydalanish imkoniyatlarini ko'rsatdi.</p>

силицид мединанопленкананофазаионно-плазменный.copper silicidenanofilmnanophaseion-plasma.

Metadata source: the journal's OAI-PMH archive · Sindex does not store the full text; it links to the source.

Cite

APA 7 
Normuradov, Muradulla (2025). KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI. «FarDU­ ilmiy xabarlari», 31(1).
GOST R 7.0.5 
Normuradov, Muradulla KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI // «FarDU­ ilmiy xabarlari». 2025. Т. 31. № 1.
BibTeX 
@article{muradulla2025,
  author  = {Normuradov, Muradulla},
  title   = {KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI},
  journal = {«FarDU­ ilmiy xabarlari»},
  year    = {2025},
  volume  = {31},
  number  = {1}
}
RIS 
TY  - JOUR
AU  - Normuradov, Muradulla
TI  - KREMNIY YUZASIDA NANOFAZALI CU15SI4/SI PLYONKALARINING SHAKLLANISHI VA ULARNING ELEKTROFIZIK XUSUSIYATLARI
JO  - «FarDU­ ilmiy xabarlari»
PY  - 2025
VL  - 31
IS  - 1
ER  -