«FarDU ilmiy xabarlari» Volume 29 Issue 2 (2023)
SI/CU PLYONKA TIZIMINING YUZASIDA YARATILGAN NANO O‘LCHOVLI TUZILMALARNING XUSUSIYATLARINI O‘RGANISH
Tursunov, Alisher, Axmedov, Akbar
Abstract
<p><em>Past energiyali (E0 = 1-5 keV) </em><em>О</em><em><sub>2</sub></em><em><sup>+</sup></em><em>, </em><em>Ва</em><em><sup>+</sup></em><em>, Cu<sup>+ </sup>va </em><em>Со</em><em><sup>+</sup></em><em> ionlarini implantatsiya qilish usuli bilan hamda so‘ngra qizdirilib, erkin nanoplyonka tizimi Si/Cu(100) yuzasida SiO2 va metall silitsidlari nanofazalari va plyonkalari olingan. Ularning sirt morfologiyasi, tarkibi, energiya zonalari parametrlari, ikkilamchi elektron emissiyasi koeffitsientining maksimal qiymati va fotoelektronlarning kvant chiqishi aniqlandi. Xususan, metall silisidlarning taqiqlangan zona oralig‘i 0,3-0,4 eV, qarshilik esa - 100-500 mkOm</em><em>×</em><em>sm ekanligi ko‘rsatilgan.</em></p>
kremniyplyonkaenergiyananoelektronikaelektronoksidyarimo‘tkazgichsiliconfilmenergy
Metadata source: the journal's OAI-PMH archive · Sindex does not store the full text; it links to the source.