«FarDU­ ilmiy xabarlari» Ҷилди 31 № 4 (2025)

РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ

Normuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, Хамдамова, Гулжахон

Дар манбаъ хондан

Аннотатсия

<p><em>В данной работе поликристаллические тонкие пленки марганцевого силицида (</em><em>Mn</em><em>₄</em><em>Si</em><em>₇</em><em>) были синтезированы на подложках </em><em>Si</em><em>(111) методом ионно-плазменного магнетронного распыления. Исследованы структурные, морфологические и термоэлектрические свойства полученных пленок. Морфология поверхности анализировалась с использованием атомно-силовой микроскопии (АСМ), которая выявила равномерно распределённые нанозерна и характерную шероховатость поверхности. Рентгенофазовый анализ подтвердил формирование тетрагональной кристаллической структуры с доминирующими пиками при определённых углах. Термическая обработка в диапазоне 300–750 </em><em>K</em><em> привела к образованию дефектов, которые при более высоких температурах трансформировались в однородные тонкие слои. Метод Ритвельда использовался для уточнения кристаллической структуры и определения индексов Миллера.</em></p>

тонкие пленки Mn₄Si₇; магнетронное распыление; ионно-плазменное осаждение; рентгенофазовый анализ; уточнение по Ритвельду.тонкие пленки Mn₄Si₇; магнетронное распыление; ионно-плазменное осаждение; рентгенофазовый анализ; уточнение по Ритвельду.

Манбаи метамаълумот: бойгонии OAI-PMH-и маҷалла · Sindex матни пурраро нигоҳ намедорад, ба манбаъ пайванд медиҳад.

Иқтибос гирифтан

APA 7 
Normuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек & Хамдамова, Гулжахон (2025). РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ. «FarDU­ ilmiy xabarlari», 31(4).
GOST R 7.0.5 
Normuradov, Muradulla, Довранов, Кувондик, Акбаров, Исакжон, Туйчиев, Нурбек, Юлдошев, Озодбек, Хамдамова, Гулжахон РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ // «FarDU­ ilmiy xabarlari». 2025. Т. 31. № 4.
BibTeX 
@article{muradulla2025,
  author  = {Normuradov, Muradulla and Довранов, Кувондик and Акбаров, Исакжон and Туйчиев, Нурбек and Юлдошев, Озодбек and Хамдамова, Гулжахон},
  title   = {РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ},
  journal = {«FarDU­ ilmiy xabarlari»},
  year    = {2025},
  volume  = {31},
  number  = {4}
}
RIS 
TY  - JOUR
AU  - Normuradov, Muradulla
AU  - Довранов, Кувондик
AU  - Акбаров, Исакжон
AU  - Туйчиев, Нурбек
AU  - Юлдошев, Озодбек
AU  - Хамдамова, Гулжахон
TI  - РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ И АСМ-АНАЛИЗ ПЛЕНОК Mn₄Si₇, ОСАЖДЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ
JO  - «FarDU­ ilmiy xabarlari»
PY  - 2025
VL  - 31
IS  - 4
ER  -